Method of making a display comprising thin-film transistors and capacitors

Abstract

Abstract Translated from French Procédé de fabrication de circuits électroniques à base de transistors en couches minces et de condensateurs. Selon l'invention, ce procédé comprend les opérations suivantes: dépôt sur un substrat isolant (100) d'une couche (102) d'un premier matériau conducteur transparent; première photogravure appliquée à cette première couche pour constituer des pavés (106) formant une des armatures des futurs condensateurs, ainsi que des sources et des drains pour les futurs transistors; dépôt d'une couche (110) de silicium amorphe hydrogéné; dépôt d'une couche isolante (112); dépôt d'une couche (114) d'un second matériau conducteur; seconde photogravure appliquée à l'ensemble couche de silicium-couche isolante-couche conductrice, pour délimiter les grilles de commande des transistors. Application à la réalisation de circuits de commande d'écrans d'affichage ou de registres BBD. Method of manufacturing electronic circuits based on thin film transistors and capacitors. According to the invention, this method comprises the following operations: deposition on an insulating substrate (100) of a layer (102) of a first transparent conductive material; first photoengraving applied to this first layer to form blocks (106) forming one of the frames of future capacitors, as well as sources and drains for future transistors; depositing a layer (110) of hydrogenated amorphous silicon; depositing an insulating layer (112); depositing a layer (114) of a second conductive material; second photoengraving applied to the silicon layer-insulating layer-conductive layer assembly, to delimit the control gates of the transistors. Application to the production of control circuits for display screens or BBD registers.

Inventors

• 👤 Pierre Coissard
• 👤 Joseph Richard
• 👤 François Morin

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