Method for producing a charge transport device, and charge transport device manufactured thereby

Abstract

Abstract Translated from French Dispositif à transfert de charges et son procédé de fabrication dans lequel les électrodes inférieures (3e, 4e, 5e) possèdent des élargissements (3eE) et des rétrécissement (3eR). Les élargissements (3eE) d'une électrode s'imbriquent dans les rétrécissements des électrodes voisines. Les électrodes supérieures (6, 7, 8, 9) recouvrent les espaces existant entre les électrodes inférieures et recouvrent au moins partiellement les élargissements. Les rétrécissements non recouverts par les électrodes supérieures font l'objet d'une diffusion d'impuretés. Le procédé de fabrication de ce transfert de charge ne nécessite pas une grande précision de fabrication dans la position des masques. Charge transfer device and its manufacturing method in which the lower electrodes (3e, 4e, 5e) have widenings (3eE) and shrinkage (3eR). The enlargements (3eE) of an electrode overlap in the narrowing of the neighboring electrodes. The upper electrodes (6, 7, 8, 9) cover the spaces between the lower electrodes and at least partially cover the enlargements. The narrowing not covered by the upper electrodes is subject to a diffusion of impurities. The manufacturing process for this charge transfer does not require great manufacturing precision in the position of the masks.

Inventors

• 👤 Pierre Blanchard
• 👤 Michel Carquet
• 👤 Philippe Warenbourg

Bibliographic Details