Laser pattern generator and process for using it

Abstract

Abstract Translated from German Zur Positionsbestimmung und zur Korrektur von mechanischen Bewegungen beim Schreiben von Linien mit einem Schreiblaserstrahl (7) und einem Tastlaserstrahl (9') in einem metallisierten, dreidimensionalen, integrierten Schaltkreis werden beide Strahlen (7, 9') auf dieselbe Achse gebracht und mit Hilfe eines einzigen Tastlaserstrahlteilers (18) sowohl in den Objektivkopf (D) und auf das Werkstück (G) als auch in einen Revolverkopf (G) geführt, der wechselweise mehrere Mess- oder Beobachtungsgeräte einsetzen kann. Einzelne Teile sind gut einstellbar und bei der automatischen Auswertung der festgestellten Werte kann daraus direkt und mit der gewünschten Geschwindigkeit die Korrektur eines eventuellen Fehlers erreicht werden. Für das Ordnen und für das Verkürzen der Strahlenwege wird ein Laserstrahlensammler (C) eingesetzt, der zweckmässig auch mit einem Schreiblaserstrahldetektor (15) versehen ist. Ein weiterer Detektor (18') kann hinter dem Tastlaserstrahlteiler (18) angeordnet sein. Die optische Verbindung zwischen dem Objektivkopf (D) und dem Revolverkopf (E) ist sehr einfach, was eventuelle Fehler durch Vibrationen verhindert. Das erfindungsgemässe Verfahren und die dazugehörige Vorrichtung ist insbesondere für schnelles und präzises Bearbeiten von metallisierten, dreidimensionalen, integrierten Schaltkreisen (Wafer) geeignet. To determine the position and to correct mechanical movements when writing lines with a writing laser beam (7) and a scanning laser beam (9 ') in a metallized, three-dimensional, integrated circuit, both beams (7, 9') are brought onto the same axis and with the aid of a single scanning laser beam splitter (18) both in the lens head (D) and on the workpiece (G) and in a turret head (G) which can alternately use several measuring or observation devices. Individual parts can be easily adjusted and the automatic evaluation of the determined values can be used to correct any errors directly and at the desired speed. A laser beam collector (C) is used for arranging and shortening the beam paths, which is expediently also provided with a writing laser beam detector (15). Another detector (18 ') can be arranged behind the scanning laser beam splitter (18). The optical connection between the lens head (D) and the turret head (E) is very simple, which prevents possible errors due to vibrations. The method according to the invention and the associated device are particularly suitable for fast and precise processing of metallized, three-dimensional, integrated circuits (wafers).

Inventors

• 👤 Jean-Michel Dr. Mayor
• 👤 Jürg Dr. Steffen
• 👤 Peter Wüthrich

Bibliographic Details