Exposure apparatus and device manufacturing apparatus

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【課題】 露光光の光路の少なくとも一部に高透過率 （不活性）で熱伝導率が良好な気体を供給する場合に、 その気体の使用量を抑制する。 【解決手段】 床Ｆ１上の環境チャンバ７内に露光本体 部２６が設置され、外部のＦ 2 レーザ光源３を収納する カバー１から環境チャンバ７の内側までの照明光学系の 大部分がサブチャンバ６で覆われている。階下の床Ｆ２ 上の所定のボンベ内の高純度のヘリウムガスを配管３１ を介してサブチャンバ６、及び露光本体部２６の投影光 学系ＰＬ内に供給し、環境チャンバ７の天井近傍に集ま るヘリウムガスと、主に窒素よりなる空気の成分との混 合気体を配管３３を介して階下の集塵排水装置３５に導 き、集塵排水装置３５を通過した混合気体を冷凍装置３ ７に通して液化した空気の成分を所定のボンベに回収 し、気体のままのヘリウムを配管４１、混合温調装置、 及び配管３１を介して再循環させる。 (57) [Problem] To supply a gas having a high transmittance (inert) and a good thermal conductivity to at least a part of an optical path of exposure light, Use less gas. SOLUTION: An exposure main body part 26 is installed in an environment chamber 7 on a floor F1, and most of an illumination optical system from a cover 1 accommodating an external F 2 laser light source 3 to an inside of the environment chamber 7 is a sub-chamber. 6 is covered. Downstairs floor F2 High-purity helium gas in the predetermined cylinder Through the pipe 33 through the sub-chamber 6 and the projection optical system PL of the exposure main body 26 via the helium gas collected near the ceiling of the environment chamber 7 and an air component mainly composed of nitrogen. Via the dust collecting and draining device 35 through the dust collecting and draining device 35 downstairs. The liquefied air component passed through 7 is collected in a predetermined cylinder, and helium in a gaseous state is passed through a pipe 41, a mixing temperature controller, And recirculate through the pipe 31.

Inventors

• 👤 Nobutaka Umagome
• 👤 伸貴 馬込

Bibliographic Details