High-frequency discharge method, discharge device thereof, and high-frequency discharge treatment device using the discharge device

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 この発明はアンテナの早期損傷や不純物の発 生を防止した高周波放電方法を提供することにある。 【構成】 ル−プ状アンテナ１１に高周波電流を流して 変動磁界を発生させることで放電プラズマを生成するた めの高周波放電方法において、上記アンテナの周囲を磁 力線で覆うことを特徴とする。 (57) [Abstract] [PROBLEMS] To provide a high-frequency discharge method that prevents early damage of an antenna and generation of impurities. A high-frequency discharge method for generating discharge plasma by flowing a high-frequency current through a loop-shaped antenna 11 to generate a fluctuating magnetic field is characterized in that the antenna is covered with magnetic lines of force.

Inventors

• 👤 Hideo Sugai
• 👤 秀郎 菅井
• 👤 Masaaki Kano
• 👤 正明 加納

Bibliographic Details