Detector for surface position

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 スループットの低下を招くことなく、被検 面上の複数の箇所の上下方向の位置を同時に検出すると 共に、光学系が簡略化された面位置検出装置を提供する こと。 【構成】 投射光学系(9,10)により、被検面(1a)に対 して斜め方向から第１面上の所定のパターン(8a)を投射 し、集光光学系(11,12) により、第２面(25a) 上で所定 のパターンの像を形成する。そして、走査手段(30,31) により、この像と検出器(17)の受光面(17a) とを相対的 に走査させて、検出器により、この像を光電的に検出す る。ここで、第１面と被検面とは、投射光学系の主平面 に関してシャインプルーフの条件を満たし、被検面と第 ２面とは、集光光学系の主平面に関してシャインプルー フの条件を満たす。 (57) [Abstract] [Purpose] To provide a surface position detection device that simplifies the optical system while simultaneously detecting the vertical positions of a plurality of locations on the surface to be inspected without lowering the throughput. thing. [Structure] The projection optical system (9, 10) projects a predetermined pattern (8a) on the first surface from the oblique direction to the surface to be inspected (1a), and the condensing optical system (11, 12) , An image of a predetermined pattern is formed on the second surface (25a). And scanning means (30, 31) Thus, this image is relatively scanned with the light receiving surface (17a) of the detector (17), and the detector photoelectrically detects this image. Here, the first surface and the surface to be inspected satisfy the Scheimpflug condition with respect to the main plane of the projection optical system, and the surface to be inspected and the second surface satisfy the Scheimpflug condition with respect to the main plane of the condensing optical system. Fulfill.

Inventors

• 👤 Hideo Mizutani
• 👤 英夫 水谷

Bibliographic Details