Microcomputer and evaluating method for the same

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 ワード線およびビット線間の層間絶縁膜を流 れるリーク電流を検出可能なマイクロコンピュータおよ びその評価方法を提供する。 【構成】 制御回路２２の制御信号線２９をハイレベル にすることにより、ワード線１１，１２，１３，１４は プリチャージ状態（ハイレベル）を維持し、かつ、ビッ ト線７，８，９，１０はディスチャージ状態（ローレベ ル）を維持することによって、ワード線１１，１２，１ ３，１４およびビット線７，８，９，１０間に、層間絶 縁膜（図示せず）を介して電源電圧程度の電位差を発生 させる。そして、この状態でマイクロコンピュータのス タンバイ電流を測定することにより、ワード線１１，１ ２，１３，１４およびビット線７，８，９，１０間の層 間絶縁膜を流れるリーク電流を検出する。 (57) [Summary] [Object] To provide a microcomputer capable of detecting a leak current flowing through an interlayer insulating film between a word line and a bit line, and an evaluation method thereof. A word line 11, 12, 13, 14 is maintained in a precharged state (high level) by setting a control signal line 29 of the control circuit 22 to a high level, and bit lines 7, 8, 9, By keeping the discharge state (low level), the word line 11, 12, 1, A potential difference of about the power supply voltage is generated between the bit lines 3, 14 and the bit lines 7, 8, 9, 10 via an interlayer insulating film (not shown). Then, by measuring the standby current of the microcomputer in this state, the word lines 11, 1 A leak current flowing through the interlayer insulating film between the bit lines 2, 13, 14 and the bit lines 7, 8, 9, 10 is detected.

Inventors

• 👤 Atsushi Takinozawa
• 👤 淳 滝野沢

Bibliographic Details