Method for manufacturing thin film EL display device

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 黄橙色以外の発光色を呈する高輝度な薄膜Ｅ Ｌディスプレイ素子の製造方法を提供すること。 【構成】 ＭＯＣＶＤ（有機金属気相成長）装置１００ の反応炉１１内のサセプタ１８には基板１９が配置され ている。この基板１９に対してノズル１２，１３，１４ から薄膜気相成長のための各ガスが供給される。この 時、ノズル１４の上流の反応室１５内の発光中心物質１ ７は還元性ガスに輸送されて還元状態にて反応炉１１内 に導入される。このため、母体材料内に発光中心物質が 均一に分布された発光層を成膜することができる。従っ て、本発明の薄膜ＥＬディスプレイ素子の製造方法を用 いた薄膜ＥＬディスプレイ素子は硫化亜鉛：マンガン (ＺnＳ：Ｍn)の黄橙色以外の発光色を呈する発光層を有 するものであっても高輝度で高品質なものとなる。 (57) [Abstract] [Purpose] High-brightness thin film E that emits light other than yellow-orange To provide a method for manufacturing an L display device. [Structure] MOCVD (metal organic chemical vapor deposition) apparatus 100 A substrate 19 is arranged on the susceptor 18 in the reaction furnace 11. The nozzles 12, 13, 14 are attached to the substrate 19. Supplies respective gases for thin film vapor phase growth. At this time, the emission center substance 1 in the reaction chamber 15 upstream of the nozzle 14 7 is transported to the reducing gas and introduced into the reaction furnace 11 in a reduced state. Therefore, it is possible to form a light emitting layer in which the emission center substance is uniformly distributed in the base material. Therefore, a thin film EL display element using the method for manufacturing a thin film EL display element of the present invention is zinc sulfide: manganese. Even with a light emitting layer exhibiting a light emitting color other than the yellow-orange color of (ZnS: Mn), high brightness and high quality are obtained.

Inventors

• 👤 Koji Mizutani
• 👤 厚司 水谷
• 👤 Masayuki Katayama
• 👤 片山　　雅之
• 👤 Tamotsu Hattori
• 👤 有 服部
• 👤 Nobue Ito
• 👤 信衛 伊藤

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