Surface acoustic wave device

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 より高い周波数域で作動することができ、か つ損失の少ない表面弾性波素子を提供する。 【構成】 ダイヤモンド層１と、ダイヤモンド層１上に 設けられる圧電体層３と、ダイヤモンド層１と圧電体層 ３の間に設けられ、両層に密着するくし型電極２ａ、２ ｂを備える表面弾性波素子において、くし型電極２ａ、 ２ｂがダイヤモンド層において集束イオンビームにより イオン注入された領域であることを特徴とする素子（図 １（ｃ）参照）。 (57) [Abstract] [Purpose] To provide a surface acoustic wave device that can operate in a higher frequency range and has less loss. A diamond layer 1, a piezoelectric layer 3 provided on the diamond layer 1, and comb-shaped electrodes 2a, 2 provided between the diamond layer 1 and the piezoelectric layer 3 and adhered to both layers. In the surface acoustic wave device including b, the comb-shaped electrode 2a, The element 2b is a region in the diamond layer that is ion-implanted by a focused ion beam (see FIG. 1C).

Inventors

• 👤 Shinichi Shikada
• 👤 真一 鹿田
• 👤 Hideaki Nakahata
• 👤 英章 中幡
• 👤 Akihiro Yagou
• 👤 昭広 八郷
• 👤 Naoharu Fujimori
• 👤 直治 藤森

Bibliographic Details