Waveguide type beam spot conversion element and production thereof

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 導波光の分布をより広げることにより外部入 出力導波路との結合損失を低減することのできる導波路 形ビームスポット変換素子およびその製造方法を提供す る。ならびにそのためのスポットサイズの大きい半導体 光導波路を再現性よく高精度に提供する。 【構成】 コア２の下に基板５よりも屈折率の高い第２ コア４を設け、コア３を光伝搬部ＩＩＩへ向けて幅方向 に広くし、かつ厚み方向にテーパ状に薄くし、かつ部分 ＩＩにおいて打ち切り、第２コア４をコア３の下に部分 ＩＩおよびＩＩＩにわたって延在させる。導波モードが カットオフとならず、しかも放射モードと結合して放射 損が増加することがないため、スポットサイズを広げる ことができる。 (57) [Summary] [Object] To provide a waveguide beam spot conversion element capable of reducing the coupling loss with an external input / output waveguide by further widening the distribution of guided light and a method for manufacturing the same. Also, a semiconductor optical waveguide having a large spot size for that purpose is provided with high reproducibility and high accuracy. [Structure] The second core having a higher refractive index than the substrate 5 under the core 2. The core 4 is provided, the core 3 is widened in the width direction toward the light propagating portion III, and tapered in the thickness direction, and is cut off at the portion II, and the second core 4 is placed under the core 3 at the portion II and Extend over III. The guided mode is not cut off, and the radiation loss is not increased by coupling with the radiation mode, so that the spot size can be increased.

Inventors

• 👤 Naoto Yoshimoto
• 👤 直人 吉本
• 👤 Kenji Kono
• 👤 健治 河野
• 👤 Masaki Kamitoku
• 👤 正樹 神徳

Bibliographic Details