PIN CHUCK

Abstract

Abstract Translated from French L'INVENTION CONCERNE UN MANDRIN A BROCHES DESTINE A SUPPORTER UNE PLAQUETTE SEMI-CONDUCTRICE PENDANT DES OPERATIONS PHOTO-LITHOGRAPHIQUES. LE MANDRIN CONSISTE EN UNE SEULE PIECE DE SILICIUM MONOLITHIQUE. DES PARTIES EN RELIEF 11 SUPPORTENT LA PLAQUETTE A USINER ET DES PARTIES EN CREUX 13 FORMENT DES CIRCUITS DE CIRCULATION D'AIR DE MANIERE QU'UNE DEPRESSION PUISSE ETRE UTILISEE POUR MAINTENIR LA PLAQUETTE SUR LE MANDRIN. UNE SURFACE ANNULAIRE D'ETANCHEITE 3 ENTOURE LES PARTIES CREUSES 13 ET LES PARTIES EN RELIEF 11. L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT AU TRAITEMENT DES PLAQUETTES SEMI-CONDUCTRICES. THE INVENTION RELATES TO A SPINDLE CHUCK INTENDED TO SUPPORT A SEMI-CONDUCTIVE PLATE DURING PHOTO-LITHOGRAPHIC OPERATIONS. THE CHUCK CONSISTS OF A SINGLE PIECE OF MONOLITHIC SILICON. RELIEF PARTS 11 SUPPORT THE INSERT TO BE MACHINED AND RECESSED PARTS 13 FORM AIR CIRCULATION CIRCUITS SO THAT A VACUUM CAN BE USED TO HOLD THE INSERT ON THE CHUCK. AN ANNULAR WATERPROOFING SURFACE 3 SURROUNDED BY THE HOLLOW PARTS 13 AND THE SURFACE PARTS 11. THE INVENTION APPLIES IN PARTICULAR TO THE TREATMENT OF SEMI-CONDUCTIVE PLATES.

Inventors

• 👤 Armand P Neukermans
• 👤 Graham J Sidall
• 👤 Joseph W Franklin

Bibliographic Details