Test station, especially for semiconductor wafers

Abstract

Abstract Translated from French Une enceinte sous vide est définie par une plate-forme (10) surmontée d'une cloche (20) à fenêtre optique (21). Intérieurement, l'enceinte loge une table (30) dont le plateau inférieur reçoit un mécanisme de positionnement quatre axes (40), supportant un insert isolant (60) surmonté d'une tête à régulation de température portant une plaquette semi-conductrice (W). Le plateau supérieur (32) de la table reçoit des dispositifs porte-aiguilles susceptibles de venir en contact de manière ajustable sur des plots de contact de la plaquette (W) à des fins de test, tandis qu'un solénoïde plat (90), muni d'un écran isolant thermique, permet l'application d'un champ magnétique à la plaquette. Cet ensemble permet des mesures extrêmement sophistiquées sous excitations électrique, magnétique aussi bien qu'optique, à des températures allant de celle de l'azote liquide jusqu'à quelques centaines de degrés Celsius. <IMAGE> A vacuum enclosure is defined by a platform (10) surmounted by a bell (20) with an optical window (21). Internally, the enclosure houses a table (30), the lower plate of which receives a four-axis positioning mechanism (40), supporting an insulating insert (60) surmounted by a temperature-regulated head carrying a semiconductor wafer (W ). The upper plate (32) of the table receives needle-holder devices capable of coming into contact in an adjustable manner on contact pads of the plate (W) for testing purposes, while a flat solenoid (90), fitted with a thermal insulating screen, allows the application of a magnetic field to the wafer. This set allows extremely sophisticated measurements under electrical, magnetic as well as optical excitations, at temperatures ranging from that of liquid nitrogen up to a few hundred degrees Celsius. <IMAGE>

Inventors

• 👤 Alain Roizes
• 👤 Jean-Pierre David
• 👤 Alain Chourreau

Bibliographic Details