System for the automated testing of integrated circuits

Abstract

Abstract Translated from French Système de contrôle automatique de circuits inté­grés dans lequel la tranche de circuit intégré (10) à tester est supportée par un porte-échantillon (61) et reliée électri­quement à une carte à pointes (60). Ce système comprend (a) une chambre (20) traversée par un flux de gaz sec et en sur­pression ; (b) un ensemble mécanique (40) de tables (41, 42, 43, 44) de commande des déplacements de la tranche à tester, avec interpolation d'une cale (46) thermiquement isolante entre ledit ensemble de tables et le porte-échantillon (61) ; (c) un dispositif (80) de refroidissement de porte-échantillon (61) interne au système et comprenant lui-même un réservoir (81) de fluide réfrigérant, un tube (83) se prolongeant dans ledit fluide pour conduire celui-ci vers une cavité (63) de refroidissement interne au porte-échantillon, et un dispositif (64, 65) d'évacuation du fluide gazeux apparu dans ladite cavité. Application : tests de matériaux supraconducteurs Automatic integrated circuit control system in which the integrated circuit section (10) to be tested is supported by a sample holder (61) and electrically connected to a spike card (60). This system comprises (a) a chamber (20) traversed by a flow of dry gas and under pressure; (b) a mechanical assembly (40) of tables (41, 42, 43, 44) for controlling the movements of the wafer to be tested, with interpolation of a thermally insulating block (46) between said set of tables and the holder sample (61); (c) a device (80) for cooling the sample holder (61) internal to the system and itself comprising a reservoir (81) of coolant, a tube (83) extending into said fluid to conduct the latter towards a cooling cavity (63) internal to the sample holder, and a device (64, 65) for evacuating the gaseous fluid which has appeared in said cavity. Application : testing of superconductive materials

Inventors

• 👤 Michel Société Civile S.P.I.D. Binet

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