Optical waveguide component and method of manufacturing an optical waveguide component

Abstract

Abstract Translated from German Bei einem Verfahren zum Herstellen eines optischen Wellenleiterbaulementes, bei dem ein Glassubstrat mit Lichtwellenleiter aus einem optischen Polymer bestückt wird, wird die Oberfläche des Glassubstrats mit einer Schutzschicht überzogen und die Schutzschicht zur Herstellung einer Linienstruktur an den betreffenden Stellen, an denen die Lichtwellenleiter anzuordnen sind, einem photolithographischen Prozeß unterworfen. In den dadurch in der Schutzschicht gebildeten Linienspalten wird Flußsäure auf das Glassubstrat zum Ausätzen eines kapillarartigen Kanals gebacht und der entstandene Kanal mit dem optischen Polymer gefüllt. Dadurch können in Wellenleiterbauelementen Lichtwellenleiter eingebracht werden, deren Querschnittsgeometrie der der für die Lichtwellenleitung verwendeten Übertragungsglasfasern angenähert ist. In a method for producing an optical waveguide component, in which a glass substrate is fitted with optical waveguides made of an optical polymer, the surface of the glass substrate is covered with a protective layer and the protective layer for producing a line structure at the relevant locations at which the optical waveguides are to be arranged, subjected to a photolithographic process. In the line gaps thus formed in the protective layer, hydrofluoric acid is placed on the glass substrate to etch out a capillary-like channel and the channel formed is filled with the optical polymer. This allows optical waveguides to be introduced into waveguide components whose cross-sectional geometry approximates that of the transmission glass fibers used for the optical waveguide.

Inventors

• 👤 Johann Dr. Springer
• 👤 Helmut Hanisch
• 👤 Elke Holl

Bibliographic Details