Device and procedure for vacuum evaporation of a material and utilisation of the procedure

Abstract

Abstract Translated from German Um einen Verdampfungslichtbogen an einem Target, das mindestens an seiner Oberfläche ein zu verdampfendes hochschmelzendes Material aufweist, zu zünden, zu stabilisieren und zu führen, ist eine Elektronenstrahlkanone oder ein Laser vorgesehen, für das Erzeugen einer lokalen Dampfwolke oder eines vorgeschmolzenen Fleckens auf der Targetoberfläche, um damit den Lichtbogenfleck zu zünden resp. zu führen. In order to ignite, stabilize and guide an evaporation arc on a target, which has at least on its surface a high-melting material to be evaporated, an electron beam gun or a laser is provided for generating a local vapor cloud or a premelted spot on the target surface, to ignite the arc spot resp. respectively.

Inventors

• 👤 Erich Dr. Bergmann
• 👤 Helmut Dr. Rudigier

Bibliographic Details