Process for depositing a thin film of a ceramic composition and product produced by this process

Abstract

Abstract Translated from French L'invention concerne un procédé de dépôt d'une composition céramique en couche mince sur un substrat, comportant les étapes suivantes : - dissolution des constituants de base de la composition céramique, introduits sous forme simple ou complexée, dans un solvant, - ajout à la solution obtenue précédemment d'acétylacétone et d'hexaméthylènetétramine dans des proportions appropriées à la méthode de dépôt choisie, - maturation ou polymérisation de la substance obtenue à l'étape précédente, - dépôt sous forme de couche de la substance sur le substrat, - éventuellement séchage de la couche déposée si plusieurs dépôts sont nécessaires, - frittage basse température de la couche ou des couches déposées. The invention relates to a process for depositing a ceramic composition in a thin layer on a substrate, comprising the following steps: dissolution of the basic constituents of the ceramic composition, introduced in simple or complexed form, in a solvent, addition to the previously obtained solution of acetylacetone and hexamethylenetetramine in proportions suitable for the deposition method chosen, - maturation or polymerization of the substance obtained in the previous step, - deposition as a layer of the substance on the substrate, - possibly drying of the deposited layer if several deposits are necessary, - low temperature sintering of the layer or layers deposited. Application à l'industrie électronique. Application to the electronics industry.

Inventors

• 👤 Isabelle Valente
• 👤 Sylvain Faure
• 👤 Philippe Gaucher
• 👤 Jacques Livage

Bibliographic Details