Optical coupling element with convex micro-lens

Abstract

Abstract Translated from German Ein optisches Koppelelement mit einer konvexen brechenden Mikrolinse soll einen hohen Koppelwirkungsgrad aufweisen und einfach herzustellen sein. Dazu weist das Koppelelement ein flaches Trägerplättchen (2) aus Silizium mit einem pyramidenstumpfförmigen Loch (20) auf, in dem die Mikrolinse (1) in Form einer aus Silizium bestehenden, einseitig abgeplatteten Kugel (10) mit einer zu einer Flachseite (21) des Trägerplättchens (2) im wesentlichen parallelen Fläche (101) angeordnet und befestigt ist, wobei das Trägerplättchen (2) mit einer Flachseite (21) an einem ein optisches Bauteil tragenden Körper befestigbar ist. Ein vorteilhaftes Verfahren zur Herstellung dieses Koppelelements ist angegeben. An optical coupling element with a convex refractive microlens should have a high coupling efficiency and should be easy to manufacture. For this purpose, the coupling element has a flat carrier plate (2) made of silicon with a truncated pyramid-shaped hole (20), in which the microlens (1) in the form of a ball (10) made of silicon and flattened on one side with a flat side (21) of the Carrier plate (2) is arranged and fastened in a substantially parallel surface (101), the carrier plate (2) being able to be fastened with a flat side (21) to a body carrying an optical component. An advantageous method for producing this coupling element is specified.

Inventors

• 👤 Franz Mayerhofer
• 👤 Holger Dr. Karstensen
• 👤 Ralf Dietrich
• 👤 Werner Späth

Bibliographic Details