Interferometric device

Abstract

Abstract Translated from German Interferometeranordnung, insbesondere zur Entfernungs- bzw Verschiebewegbestimmung eines beweglichen Bauteiles, mit einer Laserlichtquelle (2) mit einem Strahlteiler (7) zur Aufteilung von aus der Laserlichtquelle stammendem Licht in einen Meßstrahl und einen Referenzstrahl, mit einer Rekombinationseinrichtung (15), an der der über Referenzstrecke geführte Referenzstrahl und der eine teilweise in einem gasförmigen Umgebungsmedium verlaufen­de und über einen beweglichen Meßspiegel (12) führende Meßstrecke durchlaufende Meßstrahl interferieren. Zur Analyse eines aus der Rekombinationseinrichtung (15) stammenden optischen Interferenzsignals ist eine mindestens einen Photodetektor aufweisende Detektoreinrichtung (24­a-d, 3, 25) vorgesehen. Zur Erfassung bzw. Kompensation von variablen Umweltbedingungen ist mindestens ein stati­sches, mit Licht aus der Laserlichtquelle beleuchtetes Eta­lon (41) bekannter Länge vorgesehen,dessen zwischen den Reflexionsflächen (42, 43) liegender Raumbereich mit dem Umgebungsmedium kommuniziert. Das Etalon (41) ist an eine Licht aus der Laserlichtquelle (2) führende, flexible Lichtleitfaser (46) angeschlossen, womit eine exakt justier­te Beleuchtung des Etalons (41) gegeben ist und das Etalon (41) einfach in der Nähe der Meßstrecke angeordnet werden kann. Interferometer arrangement, in particular for determining the distance or displacement path of a movable component, with a laser light source (2) with a beam splitter (7) for splitting light originating from the laser light source into a measuring beam and a reference beam, with a recombination device (15) on which the Reference beam guided reference path and interfere with the measuring beam partially running in a gaseous ambient medium and passing through a movable measuring mirror (12). A detector device (24ad, 3, 25) having at least one photodetector is provided for analyzing an optical interference signal originating from the recombination device (15). To record or compensate for variable environmental conditions, at least one static etalon (41) of known length, which is illuminated with light from the laser light source, is provided, the area of which lying between the reflection surfaces (42, 43) communicates with the surrounding medium. The etalon (41) is connected to a flexible optical fiber (46) guiding light from the laser light source (2), which provides precisely adjusted illumination of the etalon (41) and the etalon (41) is simply arranged near the measuring section can.

Inventors

• 👤 Gerhard Leuchs
• 👤 Martin Kerner

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