Symmetric two-way device to measure lengths with an interferometer

Abstract

Abstract Translated from German Eine symmetrische zweiarmige Einrichtung zum Messen von Längen weist einen den Prüfling aufnehmenden Meßtisch, einen Meßtaster und ein Interferometer auf. Das Interferometer besitzt eine Laserstrahlenquelle (1), einen Interferometerteiler (6), einen im Meßraum angeordneten, dem Meßraum zugeordneten doppelten Meßreflektor (14), zwei Referenzreflektoren (16, 17) in symmetrischer Anordnung und eine Auswerteeinheit (18), wobei zur Einhaltung des Abbe'schen Prinzips zwei Umlenkelemente für die parallele Ausrichtung der Meßstrahlen zueinander im Meßraum vorgesehen sind und der Meßtaster mittig zwischen den Meßstrahlen und parallel zu diesen in der Meßlinie verschiebbar angeordnet ist. Der Interferometerteiler (6) weist mindestens einen polarisierenden Strahlenteiler 7, zwei in der Regel symmetrisch dazu angeordnete Verzögerungsplatten (9, 10) und einen Retroreflektor (12) auf. Der Interferometerteiler (6) weist zusätzlich eine dritte Verzögerungsplatte (11) auf. Die Referenzreflektoren (16, 17) sind im Meßraum (13) und damit außerhalb des interferometerteilers (6) angeordnet und bilden dort einen Bezugspunkt. A symmetrical two-armed device for measuring lengths has a measuring table which receives the test specimen, a probe and an interferometer. The interferometer has a laser beam source (1), an interferometer divider (6), a double measuring reflector (14) arranged in the measuring room and assigned to the measuring room, two reference reflectors (16, 17) in a symmetrical arrangement and an evaluation unit (18), whereby to maintain the According to Abbe's principle, two deflection elements are provided for the parallel alignment of the measuring beams in the measuring space and the measuring probe is arranged in the center between the measuring beams and parallel to them in the measuring line. The interferometer splitter (6) has at least one polarizing beam splitter 7, two delay plates (9, 10), which are generally arranged symmetrically thereto, and a retroreflector (12). The interferometer divider (6) additionally has a third delay plate (11). The reference reflectors (16, 17) are arranged in the measuring space (13) and thus outside the interferometer divider (6) and form a reference point there.

Inventors

• 👤 Hans-Peter Dipl.-Phys. Meiser
• 👤 Jens Dipl.-Phys. Ohlenbusch

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