Illuminating device for light sensitive materials

Abstract

Abstract Translated from German Bei einer Belichtungseinrichtung für lichtempfindliche Ma­terialien mit wenigstens einer Lampe (1) mit nachgeordneter Projektionseinrichtung (2, 4, 7, 9) zur flächigen Belichtung des auf einem Substratträger (13) abstützbaren Substrates durch eine ein Belichtungsmuster bestimmende Projektions­maske erzeugt die Projektionseinrichtung (2, 4, 7, 9) einen nur über einen Bruchteil der zu belichtenden Fläche reichen­den Lichtstreifen (10). Der Substratträger (13) mit dem Sub­strat (12) ist über Stelleinrichtungen in eine Sollage gegen­über der Projektionsmaske ausrichtbar und gemeinsam mit diesen Teilen quer zum erzeugten Lichtstreifen (10) ver­schiebbar angebracht, so daß der Lichtstreifen den gesamten zu belichtenden Bereich des Substrates (12) bestreicht. Im Projektionsweg (3, 5, 10) sind Stellglieder (18, 19) zur teilweisen Abschattung von Randbereichen des Lichtstreifens und damit der für die Belichtung wirksamen Breite des Licht­streifens in dessen verschiedenen Längsbereichen vorgesehen. The projection device (2, 4) generates an exposure device for light-sensitive materials with at least one lamp (1) with a downstream projection device (2, 4, 7, 9) for the areal exposure of the substrate that can be supported on a substrate carrier (13) by means of a projection mask that determines an exposure pattern , 7, 9) a light strip (10) reaching only over a fraction of the area to be exposed. The substrate carrier (13) with the substrate (12) can be aligned in a desired position with respect to the projection mask by means of adjusting devices and, together with these parts, can be moved transversely to the light strip (10) generated, so that the light strip covers the entire area of the substrate (12) to be exposed. brushed. Actuators (18, 19) are provided in the projection path (3, 5, 10) for partial shading of edge areas of the light strip and thus the width of the light strip effective for exposure in its various longitudinal areas.

Inventors

• 👤 Erich Dipl.-Ing. Thallner

Bibliographic Details