Transporting container with an interchangeable two-part inner container

Abstract

Abstract Translated from German Transportbehälter mit austauschbarem, zweiteiligem Innenbehäl­ter, mit einer Außenhaube (H1), einer äußeren Bodenplatte (B1), einer Innenhaube (H2), einer inneren Bodenplatte (B2), zwei Ver­schlußhebeln (V), einem Dichtungselement (D) und einem Halblei­terscheibenhalter (H). Der Transportbehälter dient zum Transport und zur Lagerung von Halbleiterscheiben in einer Halbleiterschei­benkassette und kann bei unterschiedlichen Luftdruck- und Luft­reinheitsbedingungen eingesetzt werden. Aus diesem Grunde ist ein Filterelement (F) eingebaut und der Behälter selbst ist als partikeldichter Transportbehälter konstruiert. Transport container with exchangeable, two-part inner container, with an outer hood (H1), an outer base plate (B1), an inner cover (H2), an inner base plate (B2), two locking levers (V), a sealing element (D) and a semiconductor wafer holder (H ). The transport container is used for the transport and storage of semiconductor wafers in a semiconductor wafer cassette and can be used under different air pressure and air purity conditions. For this reason, a filter element (F) is installed and the container itself is designed as a particle-tight transport container.

Inventors

• 👤 Peter Dipl.-Ing. Fh Grohrock

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