Device for determining the mass flow of a floving medium

Abstract

Abstract Translated from German Es wird eine Vorrichtung zur Bestimmung der Masse eines strömenden Mediums mit einem Substrat (20) als Träger und einer auf dem Sub­strat (20) angeordneten Widerstandsanordnung vorgeschlagen, welche unter anderem einen schichtförmigen Meßwiderstand (R H ) umfaßt so­wie einen mit diesem in thermischem Kontakt stehenden, ebenfalls schichtförmigen Heizwiderstand (R S ), dessen Heizleistung so gere­gelt wird, daß der Meßwiderstand (R H ) einen konstanten elektri­schen Widerstand aufweist, wobei die Heizleistung des Heizwiderstan­des (R S ) ein Maß für die Masse des strömenden Mediums ist. Die Fläche von (R S ) ist größer als dei Fläche von (R H ) und erstreckt sich weiter in Richtung auf eine Befestigung (21) des Substrates (20) hin, um einen Wärmeabfluß aus dem Bereich des Meßwiderstandes (R H ) zu verhindern. Durch geeignete Maßnahmen, etwa eine Mäandrie­rung des Heizwiderstandes (R S ), wird erreicht, daß der örtliche Widerstandswert des Heizwiderstandes (R S ) quer zur Richtung der Strömung in Richtung auf die Befestigung (21) hin abnimmt. Die durch den Heizwiderstand (R S ) innerhalb des Substrates (20) und des Meß­widerstandes (R H ) erzeugte Temperatur nimmt also in Richtung auf die Befestigung (21) hin ab. The invention relates to a device for determining the mass of a flowing medium with a substrate (20) as a support and a resistor arrangement arranged on the substrate (20), which comprises, among other things, a layered measuring resistor (R H ) and one that is in thermal contact with the latter , also layered heating resistor (R S ), the heating power of which is regulated so that the measuring resistor (R H ) has a constant electrical resistance, the heating power of the heating resistor (R S ) being a measure of the mass of the flowing medium. The area of (R S ) is larger than the area of (R H ) and extends further towards an attachment (21) of the substrate (20) in order to prevent heat from flowing out of the area of the measuring resistor (R H ) . Suitable measures, such as meandering the heating resistor (R S ), ensure that the local resistance value of the heating resistor (R S ) decreases transversely to the direction of the flow in the direction of the fastening (21). The temperature generated by the heating resistor (R S ) within the substrate (20) and the measuring resistor (R H ) thus decreases in the direction of the fastening (21).

Inventors

• 👤 Ulrich. Dr. Dipl.-Phys. Kuhn
• 👤 Sybille Stumpf

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