Container for manipulating semiconductor elements

Abstract

Abstract Translated from German Halbleiterelemente werden während des Transportes in allsei­tig geschlossenen Behältnissen transportiert, damit sie nicht verschmutzen. Das Behältnis kann nur unter reinen Raumbe­dingungen geöffnet werden. Durch das neue Behältnis und das neue Verfahren soll keine Verschmutzung auftreten, selbst wenn das Behältnis nicht unter Reinraumbedingungen gelagert oder gehandhabt wird. Semiconductor elements are transported in containers that are closed on all sides so that they do not become dirty. The container can only be opened under clean room conditions. The new container and the new method should prevent contamination, even if the container is not stored or handled under clean room conditions. Im Behältnis werden Halbleiterelemente (2) von einem gerich­teten, zumindest annähernd laminaren Reinluftstrom im Rein­luftbereich umspült. In dem einen Reinluftbereich herrscht hierbei ein höherer statischer Druck als in dem mit unzu­lässig vielen Partikeln belasteten Umgebungsraum. Der Rein­luftstrom reißt eventuell noch vorhandene Schmutzteilchen mit, so daß sie sich nicht auf den Halbleiterelementen (2) ablagern können. Infolge des höheren statischen Druckes wird eine Zwangsströmung aus dem Reinluftbereich des höheren statischen Druckes nach außen in den Umgebungsraum erzielt, wodurch ein Eintritt von Schmutzteilchen aus dem Umgebungsraum verhindert wird. Semiconductor elements (2) are flushed in the container by a directed, at least approximately laminar, clean air stream in the clean air area. In one clean air area there is a higher static pressure than in the surrounding area, which is loaded with impermissibly many particles. The clean air flow entrains any dirt particles that may still be present, so that they cannot deposit on the semiconductor elements (2). As a result of the higher static pressure, a forced flow from the clean air area of the higher static pressure to the outside into the surrounding area is achieved, thereby preventing dirt particles from entering the surrounding area.

Inventors

• 👤 Manfred P. Dipl.-Ing. Wurst
• 👤 Rudolf Dr.-Ing. Simon
• 👤 Thomas Dipl.-Ing. Von Kahlden

Bibliographic Details