Sputtering cathode based on the magnetron principle

Abstract

Abstract Translated from German Zerstäubungskatode (1) nach dem Magnetronprinzip mit einem aus mindestens einem Teil bestehenden Target (11) aus dem zu erstäubenden Material. Hinter dem Target (11) ist ein ebenes Magnetsystem (13) mit mehreren, ineinander liegenden und sich geschlossenen Magneteinheiten (14,15,16) abwechselnd unterschiedlicher Polung angeordnet Dadurch werden mindestens zwei gleichfalls in sich geschlossene ineinanderliegende magnetische Tunnels (19, 20) aus bogenförmig gekrümmten Feldlinien gebildet. Die dem Target (11) abgekehrten Pole der Magneteinheiten (14, 15, 16) sind über ein Magnetjoch aus weichmagnetischem Material miteinander verbunden. Zur Lösung der Aufgabe, Schichten gleichmässiger Dicke mit nur einer einzigen Stromversorgung pro Katode durchführen zu können, sind mindestens drei ineinanderfiegende permanentmagnetische Magneteinheiten (14, 15, 16) vorhanden und ausserdem eine mechanische Verstelleinrichtung zur relativen Veränderung der magnetischen Flüsse zwischen den einzelnen Magneteinheiten und dem Magnetjoch (17). Sputtering cathode (1) according to the magnetron principle with a target (11) consisting of at least one part made of the material to be sputtered. Behind the target (11) there is a planar magnet system (13) with a plurality of magnet units (14, 15, 16) lying one inside the other and closed in alternating polarities. As a result, at least two self-contained magnetic tunnels (19, 20) are also located arcuate curved field lines. The poles of the magnet units (14, 15, 16) facing away from the target (11) are connected to one another via a magnet yoke made of soft magnetic material. To solve the problem of being able to carry out layers of uniform thickness with only a single power supply per cathode, there are at least three intermeshing permanent magnetic magnet units (14, 15, 16) and also a mechanical adjustment device for the relative change of the magnetic fluxes between the individual magnet units and the Magnetic yoke (17).

Inventors

• 👤 Peter Dr. Wirz
• 👤 Gudrun Dipl.-Ing. Przybilla
• 👤 Karl-Heinz Schuller
• 👤 Bernd Dr. Cord

Bibliographic Details