Measuring device

Abstract

Abstract Translated from German Bei einer Meßeinrichtung zur Messung der Relativ­lage zweier Objekte wird ein Maßstab (M1) von einer Abtasteinheit mit einer Abtastplatte (AP1) und einer Photoelementenplatte (PP1) abgetastet. Der Maßstab (M1) weist eine Teilung (T) und dieser Teilung (T) absolut zugeordnete identische Referenz­marken (R1n) mit einem gleichen gegenseitigen Ab­stand (d) in Meßrichtung X auf. Auf der Abtastplat­te (AP1) sind zwei Referenzabtastteilungen (RAT1a,­RAT1b) und auf der Photoelementenplatte (PP1) zwei Referenzphotoelemente (RP1a, RP1b) mit dem gleichen gegenseitigen Abstand (d) aufgebracht. Zur Auswahl einer für die Messung benötigten Referenzmarke (R1x) ist neben dieser eine unwirksame Referenzmarke (R1u) vorgesehen. Bei der Abtastung zweier unausge­wählter Referenzmarken (R1n-1,R1n) sowie einer unaus­gewählten Referenzmarke (R1n) und der ausgewählten Referenzmarke (R1x) werden zwei Referenzsignale mit entgegengesetzter Polarität erzeugt, deren additive Überlagerung ein unauswertbares resultierendes Refe­renzsignal ergibt; nur bei der Abtastung der ausge­wählten Referenzmarke (R1x) und der unwirksamen Re­ferenzmarke (R1u) wird ein Referenzsignal (RS1x) er­zeugt, das ein auswertbares resultierendes Referenz­signal (RRS1x) ergibt. In a measuring device for measuring the relative position of two objects, a scale (M1) is scanned by a scanning unit with a scanning plate (AP1) and a photo element plate (PP1). The scale (M1) has a division (T) and identical reference marks (R1n) absolutely assigned to this division (T) with the same mutual distance (d) in the measuring direction X. On the scanning plate (AP1) two reference scanning divisions (RAT1a, RAT1b) and on the photo element plate (PP1) two reference photo elements (RP1a, RP1b) with the same mutual distance (d) are applied. In addition to this, an ineffective reference mark (R1u) is provided for selecting a reference mark (R1x) required for the measurement. When two unselected reference marks (R1n-1, R1n) and one unselected reference mark (R1n) and the selected reference mark (R1x) are scanned, two reference signals with opposite polarity are generated, the additive superimposition of which results in a resultant reference signal that cannot be evaluated; only when the selected reference mark (R1x) and the ineffective reference mark (R1u) are scanned is a reference signal (RS1x) generated which results in an evaluable resulting reference signal (RRS1x).

Inventors

• 👤 Günther Dr. Nelle

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