Cut-off filter for integrated optics

Abstract

Abstract Translated from German Kantenfilter für die integrierte Optik in Form eines reliefartigen Oberflächengitters (4) auf einem Schicht- ­oder Streifenwellenleiter (2). Bei einem bekannten Fil­ter dieser Art wird die Kantenfiltereigenschaft durch eine Variation der Korrugationstiefe und -periode des Gitters entsprechend einer vorgegebenen mathematischen Funktion erreicht. Es soll ein einfach herstellbares Kantenfilter der genannten Art angegeben werden. Dies wird dadurch erreicht, daß das Gitter (4) in einem Be­reich (L) verminderter Schichtdicke (d) des Wellenlei­ters (2) ausgebildet ist und eine konstante Korrugations­tiefe (t) aufweist. Das Gitter kann einfach durch unver­änderters Absenken eines Gitters an der Oberfläche eines Schicht- oder Streifenwellenleiters mit Hilfe eines an­isotrop wirkenden Ätzmittels hergestellt werden. Die durch das Absenken entstehenden Einfügeverluste können durch Aufbringen einer geeigneten abdeckenden Schicht auf den Wellenleiter vermindert werden. Edge filter for the integrated optics in the form of a relief-like surface grating (4) on a layer or strip waveguide (2). In a known filter of this type, the edge filter property is achieved by varying the depth and period of corrugation of the grating in accordance with a predetermined mathematical function. An easy-to-produce edge filter of the type mentioned is to be specified. This is achieved in that the grating (4) is formed in an area (L) of reduced layer thickness (d) of the waveguide (2) and has a constant depth of corrugation (t). The grating can be produced simply by lowering a grating unchanged on the surface of a layer or strip waveguide with the aid of an anisotropically acting etchant. The insertion losses resulting from the lowering can be reduced by applying a suitable covering layer on the waveguide.

Inventors

• 👤 Reinhard Dr.phil.nat. März

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