Sputtering cathode according to the magnetron principle

Abstract

Abstract Translated from German Zeratäubungskatode für die Beschichtung von Substraten (30). mit einem Katodengrundkörper (51, einem Target (9,29) aus amagnetischem Material, einem Magnetsystem (7) mit an Luft angrenzenden Polflächen zur Erzeugung eines in sich geschlossenen, die Zerstäubungsfläche (9a, 29a) übergreifenden Tunnels aus Magnetfeldlinien. Atomizing cathode for coating substrates (30). with a cathode base body (51, a target (9, 29) made of non-magnetic material, a magnet system (7) with pole faces adjoining the air to produce a self-contained tunnel spanning the atomizing surface (9a, 29a) from magnetic field lines. Des Target (9,29,39) ist mit mindestens zwei in sich geschlossenen, ineinanderliegenden, Vorsprüngen (9b, 9c; 29b i 29c; 39b, 39c) versehen, die mindestens eine Zerstäubungafläche (9a, 29a, 39a) zwischen sich einschliessen und aufeinander zugerichtete Wandflächen (9d, 9e; 29d, 29e; 39d, 39e) aufweisen. The target (9, 29, 39) is provided with at least two self-contained projections (9b, 9c; 29b and 29c; 39b, 39c) which enclose at least one atomizing surface (9a, 29a, 39a) between them and have facing wall surfaces (9d, 9e; 29d, 29e; 39d, 39e). Die Polflächen (23a, 24a) sind beiderseits der Vorsprünge (9b, 9c; 29b, 29c; 39b, 39c) und der zwischen ihnen liegenden Zerstäubungsfläche (9a. 29a, 39a) soweit vorgezogen, daß Magnatfeldlinien senkrecht aus der einen Wandfläche (9e, 29e,39e) austreten und nach dem Überqueren der Zerstäubungsfläche (9a,29a,39a) in die gegenüberliegende Wandfläche (9d,29d, 39d) senkrecht wieder eintreten. The pole faces (23a, 24a) on both sides of the projections (9b, 9c; 29b, 29c; 39b, 39c) and the atomizing surface (9a. 29a, 39a) lying between them are advanced to such an extent that magnate field lines run perpendicularly out of one wall surface (9e, 29e, 39e) emerge and after crossing the atomizing surface (9a, 29a, 39a) enter the opposite wall surface (9d, 29d, 39d) again vertically. Das Magnetsystem (7, 37) besitzt parallel zu den Vorsprüngen (9b. 9c; 29b, 29c; 39b, 39c) magnetisierte Permanentmagnete (7a, 7b), die auf den den Vorsprüngen abgekehrten Seiten durch den weichmagnetischen Grundkörper (5) verbunden und auf den den Vorsprüngen (9b, 9c; 29b, 29c; 39b, 39c) zugekehrten Seiten mit weichmagnetischen Polschuhen (23, 24) versehen sind, die sich über mindestens einen Teil der Höhe der Vorsprünge (9b, 9c) erstrecken. The magnet system (7, 37) has parallel to the projections (9b. 9c; 29b, 29c; 39b, 39c) magnetized permanent magnets (7a, 7b), which are connected and on the sides facing away from the projections by the soft magnetic base body (5) the sides facing the projections (9b, 9c; 29b, 29c; 39b, 39c) are provided with soft magnetic pole shoes (23, 24) which extend over at least part of the height of the projections (9b, 9c).

Inventors

• 👤 Michael Dr. Phys. Geisler
• 👤 Jörg Dr. Phys. Kieser
• 👤 Reiner Kukla

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