Detecting arrangement of a charged particle beam's target point

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Erkennen der Auftreffstelle (2) eines Ladungsträgerstrahls (1) auf einem Target (3), wobei die von der Auftreffstelle (2) ausgehenden Röntgenstrahlen (4) durch einen Detektor (7) erkannt werden, der mit einer Auswerteschaltung (9) verbunden ist. Es ist hierbei ein Abbildungssystem (5, 50; 10, 11, 12) vorgesehen, welches alle Positionen (P1......P8), welche die Auftreffstelle (2) einnehmen kann, erfaßt und auf die Sensorfläche eines positionsempfindlichen Detektors (7) abbildet, wobei die abgebildeten Koordinaten (x', y') direkt proportional den Koordinaten (x, y) der Auftreffstelle (2) sind. Außerdem ist zwischen der Targetfläche (3) und dem positionsempfindlichen Sensor (7) ein im wesentlichen in dem von der Auftreffstelle (2) emittierten Röntgen-Strahlenbereich gut durchlässiges Filter (6) angeordnet. Der positionsempfindliche Detektor (7) gibt hierbei elektrische Signale ab, die von den Koordinaten (x, y) der Auftreffstelle monoton abhängen. The invention relates to a device for detecting the point of impact (2) of a charge carrier beam (1) on a target (3), the x-rays (4) emanating from the point of impact (2) being detected by a detector (7) which is equipped with an evaluation circuit (9) is connected. An imaging system (5, 50; 10, 11, 12) is provided, which detects all positions (P1 ...... P8) that the impact point (2) can assume and places them on the sensor surface of a position-sensitive detector ( 7), the coordinates (x ', y') being directly proportional to the coordinates (x, y) of the point of impact (2). In addition, a filter (6) which is essentially permeable in the x-ray radiation region emitted by the impact point (2) is arranged between the target surface (3) and the position-sensitive sensor (7). The position-sensitive detector (7) emits electrical signals that depend monotonically on the coordinates (x, y) of the point of impact.

Inventors

• 👤 Ewald Dipl.-Ing. Dr. Techn. Benes
• 👤 Herbert Dipl.-Ing. Dr. phil. Störi
• 👤 Franz Dr. phil. Prof. Viehböck
• 👤 Friedrich-Werner Dr.-Ing. Thomas
• 👤 Gernot Dipl.-Ing. Thorn

Bibliographic Details