Method for the temperature compensation and measuring circuit for this method

Abstract

Abstract Translated from German Eine Meßschaltung zur Durchführung eines Kompensationsverfahrens insbesondere für einen piezoresistiven Druckaufnehmer mit einer Meßbrücke (7) und einem nachgeordneten Ausgangs-Differenzverstärker (15) umfaßt ferner eine Stromversorgungsschaltung (13). Um eine optimale Temperaturkompensation für die Meßbrücke (7) bei maximaler Auflösung des Druckmeßsignals zu ermöglichen, ist vorgesehen, daß dem Ausgangs-Differenzverstärker (15) eine digitalisierte Kompensationsschaltung mit einem Analog-Digital-Wandler (21), einem Speicher (23) und zumindest einem weiteren Digital-Analog-Wandler (25, 27) vorgeordnet sind. Das temperaturabhängige Spannungsdifferenz-Eingangssignal an der Meßbrücke (7) wird über den nachgeordneten Wandler (21) digitalisiert und entsprechend in dem Speicher (23) abgespeicherte Kompensationswerte umgewandelt. Danach werden diese Werte erneut in ein analoges Kompensationssignal in einem Wandler (25, 27) umgewandelt. Bei an sich analoger Meßwertermittlung wird also allein die Fehlerkompensation auf digitalisiertem Wege durchgeführt. A measuring circuit for carrying out a compensation method, in particular for a piezoresistive pressure sensor, with a measuring bridge (7) and a downstream output differential amplifier (15) further comprises a power supply circuit (13). In order to enable optimum temperature compensation for the measuring bridge (7) with maximum resolution of the pressure measurement signal, it is provided that the output differential amplifier (15) has a digitized compensation circuit with an analog-digital converter (21), a memory (23) and at least another digital-to-analog converter (25, 27) are arranged upstream. The temperature-dependent voltage difference input signal at the measuring bridge (7) is digitized via the downstream converter (21) and converted into compensation values stored in the memory (23) accordingly. Then these values are converted again into an analog compensation signal in a converter (25, 27). If the measurement value is determined as such, error compensation is carried out digitally.

Inventors

• 👤 Hans W. Keller
• 👤 Michael Von Ritter

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