Differential pressure gauge head

Abstract

Abstract Translated from German Bei einer Differenzdruck-Meßzelle mit Halbleiter­ Meßmembran (14) ist diese von einer Verdickung (16) mit rechteckigem Querschnitt umgeben, auf die eine Ringmem­ bran (17) und ein Einspannrand (5) folgt. Die genannten Teile bilden eine zwei Meßkammern (10, 11) trennende bewegli­ che Wand (4) und sind aus einer Halbleiterscheibe herausge­ arbeitet. With a differential pressure measuring cell with semiconductor Measuring membrane (14) with a thickening (16) rectangular cross section surrounded by a ring meme bran (17) and a clamping edge (5) follows. The parts mentioned form a moveable separating two measuring chambers (10, 11) che wall (4) and are from a semiconductor wafer is working. In den zur Membranebene parallelen Bodenflächen der Meßkammern (10, 11) sind Ringnuten (18, 19) angebracht, die über Druckzuleitungen (12, 13) mit den von Trennmem­ branen (6, 7) abgeschlossenen Vorkammern (8, 9) verbunden sind. Der Durchmesser der Ringnuten entspricht dem mittle­ ren Durchmesser der die Meßmembran (14) umgebenden Verdickung (16), ihre Breite ist kleiner als der Abstand zwischen den Oberkanten der Verdickung (16). In the bottom surfaces of the membrane parallel to the membrane plane Measuring chambers (10, 11) are provided with annular grooves (18, 19), which via pressure feed lines (12, 13) with those of Trennmem Branches (6, 7) closed antechambers (8, 9) connected are. The diameter of the ring grooves corresponds to the middle ren diameter of the measuring membrane (14) surrounding Thickening (16), its width is less than the distance between the upper edges of the thickening (16). Bei Auftreten eines Überdrucks in einer der Meßkam­ mern (10 oder 11) wird die gegenüberliegende Ringnut durch die plane Stirnfläche der Verdickung (16) verschlossen und so ein weiterer, zur Beschädigung der Meßmembran führen­ der Druckabfall verhindert. If an overpressure occurs in one of the measuring chambers (10 or 11) through the opposite groove the flat end face of the thickening (16) is closed and so another, lead to damage to the measuring membrane the pressure drop prevents. Anwendungsgebeit der Erfindung sind Differenzdruck­ Meß-umformer mit Siliziummembran. The scope of the invention is differential pressure Transmitter with silicon membrane.

Inventors

• 👤 Arnold Dipl.-Ing. Schwaier

Bibliographic Details