Fabrication process of semiconducting materials and semiconductor devices

Abstract

Abstract Translated from German Die Herstellung von Materialien und Systemen mit im wesentlichen photoaktiven Eigenschaften soll ohne vermeidbare Zeitverluste im Prozeßablauf durchgeführt werden und hohe Qualität und Ausbeute liefern. The production of materials and systems with essentially photoactive properties should be carried out without avoidable loss of time in the process and should deliver high quality and yield. Hierzu werden in-situ zur Bestimmung der Qualität des photoaktiven Materials durch Anregung von Ladungsträgern - infolge einer Bestrahlung - eine Leitfähigkeit induziert und deren Einfluß auf ein elektro-magnetisches Feld gemessen, die Meßergebnisse von einem Rechner ausgewertet und Stellglieder (Ventile, Regler etc.) für die einzelnen Prozeßparameter optimal geregelt. For this purpose, conductivity is induced in-situ to determine the quality of the photoactive material by excitation of charge carriers - as a result of irradiation - and its influence on an electromagnetic field is measured, the measurement results are evaluated by a computer and actuators (valves, controllers, etc.) optimally regulated for the individual process parameters.

Inventors

• 👤 Helmut Prof.-Dr. Tributsch
• 👤 Gerhard Dr.-Ing. Beck
• 👤 Marinus Dr. Kunst
• 👤 Udo Dr.-Ing. Küppers
• 👤 Hans-Joachim Dr.Rer.Nat. Lewerenz
• 👤 André Dipl.-Phys. Werner
• 👤 Jochen Dr. Rer.Nat. Lilie

Bibliographic Details