Samples holder for secondary ion mass spectroscopy (SIMS) and other high accuracy methods of analyzing particle rays, and method of operating it

Abstract

Abstract Translated from German Eine Probenhalterung für Sekundärionen-Massenspektrometrie und andere empfindliche Teilchenstrahl-Analysenmethoden soll einen weiter vereinfachten Aufbau aufweisen und damit leichter herzustellen sein. Außerdem soll das Ziel der Umgebungsfreiheit der zu analysierenden Proben (PR) in besserem Ausmaß als beim Stand der Technik realisiert werden können. Die Probenhalterung weist ein Drehteil (DT) auf, auf dem mindestens eine Trägervorrichtung (NA) befestigt ist, deren Abmessungen in Richtungen senkrecht zum Ionen- oder Teilchenstrahl (IB) kleiner sind als die Abmessungen einer auf einer Trägervorrichtung (NA) befestigten Probe (PR). A sample holder for secondary ion mass spectrometry and other sensitive particle beam analysis methods should have a further simplified structure and thus be easier to manufacture. In addition, the goal of freedom from the environment of the samples to be analyzed (PR) should be realized to a better extent than in the prior art. The sample holder has a rotating part (DT) on which at least one carrier device (NA) is attached, the dimensions of which in directions perpendicular to the ion or particle beam (IB) are smaller than the dimensions of a sample (PR) attached to a carrier device (NA) ).

Inventors

• 👤 Rolf Dipl.-Phys. Von Criegern
• 👤 Ingo Dipl.-Phys. Weitzel

Bibliographic Details