Differential pressure measuring device

Abstract

Abstract Translated from German 57 Die Erfindung bezieht sich auf eine Druckdifferenz-Meßeinrichtung mit einer Meßmembrananordnung, die zwischen zwei Grundkörpern unter Bildung einer ersten und einer zweiten Meßkammer eingespannt ist. 57 The invention relates to a pressure difference measuring device with a measuring membrane arrangement which is clamped between two base bodies to form a first and a second measuring chamber. Um eine solche Druckdifferenz-Meßeinrichtung verhältnismäßig einfach unter Erzielung einer geringen Fehlerabhängigkeit bei Temperaturänderungen und Änderungen des statischen Druckes herstellen zu können, besteht die Meßmembrananordnung aus einer Halbleiterscheibe (2), die einen mittleren, membranartig verdünnten Bereich (12) enthält, in dem sich meßwerterfassende Teile (13) befinden; die Halbleiterscheibe (12) weist in der Nähe des eingespannten Bereichs (14) eine ringförmige Nut (15) auf. In order to be able to produce such a pressure difference measuring device relatively easily while achieving a low error dependency in the event of temperature changes and changes in the static pressure, the measuring membrane arrangement consists of a semiconductor wafer (2) which contains a central, membrane-like thinned area (12) in which measuring values are recorded Parts (13) are located; the semiconductor wafer (12) has an annular groove (15) in the vicinity of the clamped region (14).

Inventors

• 👤 Yasuhara Dipl. Ing. Takeshi

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