Oxygen sensor and process for producing the same

Abstract

Abstract Translated from German Auf einem Keramiksubstrat werden nacheinander mittels Bedampfungs-, Zerstäubungs- oder Sprühverfahren eine Kohleschicht, eine Platinschicht, eine Zirkonoxydschicht und eine weitere Platinschicht aufgebracht. Durch Ausbrennen der Kohleschicht entsteht ein Hohlraum zur Aufnahme einer Gasprobe bestimmten Volumens, deren Sauerstoffgehalt durch Coutomb-Titration durch die Zirkonoxydschicht bei an die Platinschichten als Elektroden angelegtem konstantem Potential bestimmt wird. A carbon layer, a platinum layer, a zirconium oxide layer and a further platinum layer are applied to a ceramic substrate in succession by means of vapor deposition, sputtering or spraying processes. Burning out the carbon layer creates a cavity for receiving a gas sample of a certain volume, the oxygen content of which is determined by coutomb titration through the zirconium oxide layer at a constant potential applied to the platinum layers as electrodes. Derartige Sauerstoffsensoren eignen sich aufgrund der Beschichtungs- und Ausbrenntechnik zur Massenherstellung in Chip-Form. Such oxygen sensors are suitable for mass production in chip form due to the coating and burnout technology.

Inventors

• 👤 Hideo Shiraishi

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