Method of plasma-coating the inside surface of a glass tube

Abstract

Abstract Translated from German Es wird ein Plasma-CVD-Verfahren zur Herstellung von optischen Fasern angegeben, bei dem der Druck im Glasrohr durch Regelung der Sauggeschwindigkeit konstant gehalten wird. Als druckabhängige Regelgröße wird vorzugsweise die Impedanz der plasmaerzeugenden Vorrichtung verwendet, und die Sauggeschwindigkeit wird derart geregelt, daß diese Impedanz konstant bleibt. A plasma CVD process for the production of optical fibers is specified, in which the pressure in the glass tube is kept constant by regulating the suction speed. The impedance of the plasma-generating device is preferably used as the pressure-dependent control variable, and the suction speed is controlled in such a way that this impedance remains constant.

Inventors

• 👤 Hans Dr. Beerwald
• 👤 Günter Dr. Böhm
• 👤 Günter Dr. Glomski
• 👤 Manfred Dr. Wittmann

Bibliographic Details