Electron optical system for producing a shaped electron beam with variable cross-section in particular for producing microstructures

Abstract

Abstract Translated from German Ein elektronenoptisches System mit Vario-Formstrahl zur Erzeugung und Messung von Mikrostrukturen soll einen einfachen und kostengünstigen Aufbau aufweisen und den Erfordernissen der Elektronenstrahl-Technik besser angepaßt sein. Erfindungsgemäß weist ein elektronenoptisches System mit Vario-Formstrahl der genannten Art Mittel zur Erzeugung des Vario-Formstrahls mit Hilfe der elektronenoptischen Schattenabbildung auf. Ein erfindungsgemäßes eiektronenoptisches System besitzt eine Fern-Fokus-Multipol-Wehnelt-Elektrode (W) zur Justierung, Fokussierung und Intensitätsregelung des Strahls. Weiter weist ein erfindungsgemäßes elektronenoptisches System einen Ferritpolzylinder (FI) im Sondenobjektiv (SO) mit Felddämpfung bzw. ein Sondenobjektiv (SO) mit außenliegendem Luflspalt auf. An electron-optical system with a vario-shaped beam for the generation and measurement of microstructures should have a simple and inexpensive structure and be better adapted to the requirements of electron beam technology. According to the invention, an electron-optical system with a vario-shaped beam of the type mentioned has means for generating the vario-shaped beam with the aid of the electron-optical shadow image. An electron-optical system according to the invention has a far focus multipole Wehnelt electrode (W) for adjusting, focusing and regulating the intensity of the beam. Furthermore, an electron-optical system according to the invention has a ferrite pole cylinder (FI) in the probe lens (SO) with field damping or a probe lens (SO) with an external air gap.

Inventors

• 👤 Burkhard Prof.Dr. Lischke
• 👤 Jürgen Dr. Frosien
• 👤 Erich Dr. Plies
• 👤 Klaus Dipl.-Ing. Anger

Bibliographic Details