Plasma and ion source

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betrifft eine Plasma- und Ionenquelle, bei der in einem begrenzten Volumen mittels der Elektronzyklotronresonanz ein Plasma mittels eines Magnetfeldes, der Einstrahlung von Mikrowellen und der Zuführung des zu ionisierenden Gases erzeugt wird. Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht nunmehr darin, eine Plasma- und Ionenquelle zu bieten, bei der hohe Ionendichten in einem wohldefinierten Bereich erzielt werden und neben der Beschränkung der Entladung die erforderliche elektrische Leistung auf den geringen Verbrauch des Mikrowellengenerators beschränkt wird. Die Erfindung ist gekennzeichnet durch die Verwendung eines Permanentmagneten (1) mit einer axialen Bohrung (2), in die sowohl die Mikrowellen (3) als auch das Gas (3) einbringbar ist. The invention relates to a plasma and ion source in which a plasma is generated in a limited volume by means of electron cyclotron resonance by means of a magnetic field, the radiation of microwaves and the supply of the gas to be ionized. The object on which the invention is based is now to provide a plasma and ion source in which high ion densities are achieved in a well-defined range and, in addition to limiting the discharge, the required electrical power is limited to the low consumption of the microwave generator. The invention is characterized by the use of a permanent magnet (1) with an axial bore (2) into which both the microwaves (3) and the gas (3) can be introduced.

Inventors

• 👤 Volker Dr. Dipl.-Phys. Bechthold
• 👤 Ludwig Dr. Dipl.-Phys. Friedrich
• 👤 Josef Phys.- Ing. Möllenbeck
• 👤 Peter Ziegler

Bibliographic Details