Apparatus in an ion microprobe for concentrating the primary ion beam

Abstract

Abstract Translated from German Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bündelung des Primärionenstrahis einer lonenmikrosonde auf einen bestimmten Bereich einer Meterialprobe, die eine Primärionenquelle. eine elektromagnetische Sektorfeidlinse. eine Massenaelsktionsblende, eine elektrostatische Objektivlinse und Abienkelektroden zur Ablenkung des Primärionenstrahis aufweist, besteht im wesentlichen darin, daß zwischen der Sektorfeidlinse und der Objektivlinse zwei elektrostatische Kondensorlinsen angeordnet sind, die voneinander unterschiedliche laterale Vergrößerung aufweisen. Dadurch können hohe Stromstärken auf der Meteriaiprobe, eine besondem enge Bündelung und verschiedene Breimfleckgrößen auf der Probe erreicht werden, so daß eine besonders leichte Anpassung an die jeweiligen Analysenerfordemisss durchgeführt werden kann. The device according to the invention for concentrating the primary ion beam of an ion microsensor onto a specific area of a meterial sample, which is a primary ion source. an electromagnetic sector field lens. A mass selection aperture, an electrostatic objective lens and Abienkel electrodes for deflecting the primary ion beam consists essentially in the fact that two electrostatic condenser lenses are arranged between the sector field lens and the objective lens, which have different lateral magnification from each other. As a result, high currents on the meter sample, a particularly tight bundling and different porridge sizes on the sample can be achieved, so that a particularly easy adaptation to the respective analysis requirements can be carried out.

Inventors

• 👤 Friedrich Prof.Dr. Rüdenauer
• 👤 Wolfgang Dr. Steiger

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