PROCESS FOR THE HAVARI PROTECTION OF VACUUM BOW EVAPORATOR SOURCES

Abstract

Abstract Translated from German Das Verfahren zum Havarieschutz von Vakuumbogenverdampferquellen findet Anwendung beim Einsatz von Vakuumbogenverdampferquellen fuer Beschichtungen, insbesondere fuer die Herstellung duenner Schichten. Die erfindungsgemaesze Loesung besteht darin, dasz das Potential einer elektrostatischen Abschirmung oder einer speziellen Sonde gemessen wird und bei einem Wert, der in Abhaengigkeit von der Geometrie der Verdampferquelle und der Staerke und Form der aeuszeren Magnetfelder zwischen 0% und 90% der Bogenspannung gegenueber dem Katodenpotential liegt, oder bei Erreichen der Bogenspannung die Entladung abgebrochen wird.{Havarieschutz; Vakuumbogenverdampferquellen; Beschichtungen; Potential; elektrostatische Abschirmung; aeuszere Magnetfelder; Unterbrechung} The process for accidental protection of vacuum arc evaporation sources finds application in the use of vacuum arc evaporation sources for coatings, in particular for the production of thin layers. The inventive solution is to measure the potential of an electrostatic shield or probe and at a value that is between 0% and 90% of the arc voltage versus cathode potential, depending on the geometry of the evaporator source and the strength and shape of the external magnetic fields or when the arc voltage is reached, the discharge is interrupted. Vacuum arc evaporation sources; coatings; Potential; electrostatic shielding; external magnetic fields; interruption}

Inventors

• 👤 Jan Siegel
• 👤 Bernd Rother
• 👤 Joerg Vetter

Bibliographic Details