LABORATORY TEST DEVICE FOR TESTING SEMICONDUCTOR COMPONENTS

Abstract

Abstract Translated from German Bei einem laborativen Testgeraet gemaess DD-PS 149965 zum Pruefen von Halbleiterbauelementen, bei dem durch Kontaktierung mittels grobverschiebbar und verdrehbar angebrachter Sonden statische und dynamische Parameter gemessen werden, soll die Anwendbarkeit universeller gestaltet sowie die Zuverlaessigkeit und die Lebensdauer des zur Pruefung kontaktierten Materials erhoeht werden. Deshalb ist eine Sondenaufhaengung zu schaffen, die eine in der Bewegungsfreiheit des Sondensystems uneingeschraenkte und fuer die Kontaktierungsstellen zerstoerungsaermere Kontaktierung und Pruefung des zu untersuchenden Materials ermoeglicht. Erfindungsgemaess sind die einzelnen Sonden jeweils ueber vorzugsweise keilfoermige und mit den Sonden verschraubten Distanzstuecken in einer Winkellage zur Sondentraegerscheibe an deren Unterseite angebracht. In a laboratory test device according to DD-PS 149965 for testing semiconductor devices, in which static and dynamic parameters are measured by contacting by coarsely displaceable and rotatably mounted probes, the applicability should be made more universal and the reliability and the life of the material contacted for testing should be increased. Therefore, a probe suspension is to create, which allows an unrestricted in the freedom of movement of the probe system and for the contacting points destructive contacting and examination of the material to be examined. According to the invention, the individual probes are each attached via wedge-shaped spacers, which are screwed to the probes, in an angular position relative to the probe-disc on the underside thereof.

Inventors

• 👤 Bernd Staudte

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