PIEZOELECTRIC POSITION SENSOR WITH LARGE ADJUSTING RANGE

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betrifft ein elektrisch steuerbares Hilfsmittel zur Feinpositionierung von Teilen wissenschaftlicher Geräte zueinander über einen Bereich von mehr als 10 gm mit Hilfe piezoelektrischer Verstellelemente. Die durch die zur Zeit bekannten Piezomatsrialien und deren Abmessungen gegebenen Grenzen von linearen oder Winkeländerungen werden durch entsprechende Übersetzungen erweitert. Dabei wirkt der Positionssteller sowohl als Antriebswie als Führungselement, so daß eine getrennte Lagerung des zu positionierenden Teiles nicht erforderlich ist. Fig.2 zeigt eine spezielle Ausführung des Gedankens. Jeweils zwei einander parallel liegende Piezoelemente ändern ihre Länge gegensinnig. Der Einsatz mehrerer Elementepaare erhöht die Steifigkeit, durch entsprechende Orientierung der Elementepaare kann die Steifigkeit in einer oder mehreren Vorzugsrichtungen erhöht werden. Die Erfindung kann außerdem in einer Ablenkeinheit für Lichtstrahlen über Spiegelkippung genutzt werden. The invention relates to an electrically controllable aid for the fine positioning of parts of scientific instruments relative to one another over a range of more than 10 μm using piezoelectric adjustment elements. The limits of linear or angular changes imposed by currently known piezo materials and their dimensions are extended by appropriate transmissions. The position adjuster acts as both a drive and a guide element, so that separate mounting of the part to be positioned is not necessary. Fig. 2 shows a specific embodiment of the concept. Two piezo elements arranged parallel to one another change their length in opposite directions. The use of several pairs of elements increases the rigidity; by appropriately orienting the pairs of elements, the rigidity can be increased in one or more preferred directions. The invention can also be used in a deflection unit for light beams via mirror tilting.

Inventors

• 👤 Hans-Guenter Woschni

Bibliographic Details