Method for separating element forming layer from substrate

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 高変換効率の薄膜太陽電池などの高性能の薄 膜素子を低コストで製造することができる基体から素子 形成層を分離する方法を提供する。 【構成】 単結晶Ｓｉ基板１上に多孔質Ｓｉ層２を形成 し、その上に太陽電池層となるｐ + 型Ｓｉ層３、ｐ型Ｓ ｉ層４およびｎ + 型Ｓｉ層５を形成する。ｎ + 型Ｓｉ層 ５上に保護膜６を形成した後、単結晶Ｓｉ基板１の裏面 を治具１０に接着するとともに、保護膜６の表面に治具 １２を接着する。次に、治具１０、１２を互いに反対方 向に引っ張ることにより多孔質Ｓｉ層２を機械的に破断 し、太陽電池層を単結晶Ｓｉ基板１から分離する。この 太陽電池層を二枚のプラスチック基板の間にはさんでフ レキシブルな薄膜太陽電池を製造する。 (57) [Abstract] [PROBLEMS] To provide a method for separating an element formation layer from a substrate, which enables production of a high-performance thin film element such as a thin film solar cell having high conversion efficiency at low cost. [Structure] A porous Si layer 2 is formed on a single crystal Si substrate 1, and a p + -type Si layer 3 and a p-type S layer to be a solar cell layer are formed thereon. The i layer 4 and the n + type Si layer 5 are formed. After forming the protective film 6 on the n + type Si layer 5, the back surface of the single crystal Si substrate 1 is bonded to the jig 10, and the jig 12 is bonded to the surface of the protective film 6. Next, the jigs 10 and 12 are pulled in opposite directions to mechanically break the porous Si layer 2 and separate the solar cell layer from the single crystal Si substrate 1. A flexible thin film solar cell is manufactured by sandwiching this solar cell layer between two plastic substrates.

Inventors

• 👤 Takeshi Matsushita
• 👤 孟史 松下
• 👤 Hiroshi Inakanaka
• 👤 博士 田舎中

Bibliographic Details