Network resistor and manufacturing method thereof

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 簡単な構成で電極間の短絡が生ぜす、製造が 容易で歩留が良く、信頼性も高いネットワーク抵抗器と その製造方法を提供する。 【構成】 スルーホール３０を横切るように分割溝３２ で分割され、凹部２２を有した基板１０を設け、このス ルーホール３０による凹部２２の内壁面に真空蒸着やス パッタリングにより金属薄膜電極層２４が形成されてい る。この金属薄膜電極層２４の表面に、メッキによる電 極層２８が形成されている。 (57) [Summary] [Object] To provide a network resistor which has a simple structure and which causes a short circuit between electrodes, is easy to manufacture, has a high yield, and is highly reliable, and a manufacturing method thereof. [Structure] Dividing groove 32 so as to cross through hole 30 The substrate 10 having the recesses 22 is provided, and the metal thin film electrode layer 24 is formed on the inner wall surface of the recesses 22 by the through holes 30 by vacuum deposition or sputtering. An electrode layer 28 is formed by plating on the surface of the metal thin film electrode layer 24.

Inventors

• 👤 Katsumi Takeuchi
• 👤 勝己 竹内
• 👤 Masato Shimada
• 👤 真人 嶋田

Bibliographic Details