Method and apparatus for cleaning deposits

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 被洗浄物に形成された内部空間の内表面に付 着した付着物を分子レベルで効果的に取除く。 【構成】 着脱もしくは挿入可能な紫外線ランプ４を真 空容器２の内部空間３に配設し、着脱可能な供給口１４ を介して供給される空気、酸素及びオゾンのうち少なく ともいずれかを含む洗浄用ガスの下で、紫外線ランプ４ から発せられる紫外線を内部空間３の内表面８に照射す ることにより、内表面８に付着した付着物を取除く。 (57) [Summary] [Purpose] Efficiently removes the deposits adhering to the inner surface of the internal space formed on the object to be cleaned at the molecular level. [Structure] A detachable or insertable ultraviolet lamp 4 is disposed in an internal space 3 of a vacuum container 2, and a detachable supply port 14 is provided. Under the cleaning gas containing at least one of air, oxygen and ozone supplied through the ultraviolet lamp 4 By irradiating the inner surface 8 of the internal space 3 with the ultraviolet rays emitted from the inside, the deposit adhered to the inner surface 8 is removed.

Inventors

• 👤 Shuhei Shinozuka
• 👤 脩平 篠塚
• 👤 Masao Matsumura
• 👤 正夫 松村
• 👤 Koji Ono
• 👤 耕司 小野
• 👤 Takeshi Yoshioka
• 👤 毅 吉岡

Bibliographic Details