Method for manufacturing electron-emitting device and emitter for electron-emitting device

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【構成】 請求項１に記載の発明は、表面が熱改質され たダイヤモンド薄膜をエミッタとして有することを特徴 とする電子放出素子である。 【効果】 前記構成を有する請求項１に記載の電子放出 素子は、高い電子放出特性および安定性を有し、長期間 その性能が劣化することがなく、冷陰極、フラットＣＲ Ｔ、電子銃、高周波素子等の電気・電子分野をはじめと する広い分野で好適に用いることができる。 (57) [Summary] [Claim 1] The invention according to claim 1 is an electron-emitting device characterized by having a diamond thin film whose surface is thermally modified as an emitter. The electron-emitting device according to claim 1 having the above structure has high electron-emitting characteristics and stability, does not deteriorate in performance for a long time, and has a cold cathode and a flat CR. It can be suitably used in a wide range of fields including electric and electronic fields such as T, electron guns, and high frequency devices.

Inventors

• 👤 Satoshi Katsumata
• 👤 聡 勝又
• 👤 Tanemasa Asano
• 👤 種正 浅野

Bibliographic Details