Lighting equipment

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 照明の均一性により優れた照明装置を提供す ることである。 【構成】 露光面を照明する照明光学系において、該照 明光学系の中の少なくとも１ヵ所に前記露光面と共役な 位置を設け、該共役位置の近傍に、露光面の光量分布と 逆の特性をもつ補正フィルタを設けている。 (57) [Abstract] [Purpose] To provide a lighting device which is more excellent in uniformity of lighting. In an illumination optical system for illuminating an exposure surface, a position conjugate with the exposure surface is provided at at least one position in the illumination optical system, and a characteristic opposite to the light amount distribution of the exposure surface is provided near the conjugate position. Is provided with a correction filter.

Inventors

• 👤 Susumu Saito
• 👤 晋 斉藤
• 👤 Hitoshi Suzuki
• 👤 等 鈴木
• 👤 Toshikazu Yoshino
• 👤 寿和 芳野
• 👤 Osamu Kuwabara
• 👤 理 桑原
• 👤 Takeshi Nishisaka
• 👤 武士 西坂

Bibliographic Details