Pressure sensor

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 センサチップが破損した際に、導入された流 体が外部へ流出することを防止する圧力センサを提供す る。 【構成】 流体の圧力導入口２を有するボディ１と、カ バー８との間に形成される空所内に、回路基板５とセン サチップ６とを設ける。センサチップ６は圧力導入口２ に対向させて設ける。圧力導入口２内に小口部３を形成 する。この小口部３を閉塞可能な形状を有する栓部材４ が、圧力導入口２内に往復移動自在に挿通される。セン サチップ６と栓部材４との間にゲル状の圧力伝達媒体７ を充填する。圧力導入口２より圧力が導入されると、こ の圧力は、栓部材４および圧力伝達媒体７を介してセン サチップ６に作用する。ここで、センサチップ６が破損 した場合、導入された圧力の作用により栓部材４が圧力 導入口２内を移動し、小口部３を閉塞する。この結果、 圧力導入口２より導入された流体は、外部に流出するこ とが阻止される。 (57) [Abstract] [Purpose] To provide a pressure sensor that prevents an introduced fluid from flowing out when a sensor chip is damaged. [Structure] A circuit board 5 and a sensor chip 6 are provided in a space formed between a body 1 having a fluid pressure introduction port 2 and a cover 8. The sensor chip 6 is the pressure inlet 2 It is provided facing to. A small portion 3 is formed in the pressure introducing port 2. A plug member 4 having a shape capable of closing the small opening 3. Is reciprocally inserted into the pressure introducing port 2. A gel-like pressure transmission medium 7 is provided between the sensor chip 6 and the plug member 4. To fill. When pressure is introduced from the pressure introducing port 2, this pressure acts on the sensor chip 6 via the plug member 4 and the pressure transmission medium 7. Here, when the sensor chip 6 is damaged, the plug member 4 moves in the pressure introducing port 2 due to the action of the introduced pressure, and closes the edge portion 3. As a result, The fluid introduced from the pressure introducing port 2 is prevented from flowing out.

Inventors

• 👤 Nobutada Murakami
• 👤 村上延正

Bibliographic Details