Aerial image measurement method, imaging characteristic measurement method, aerial image measurement device, and exposure device

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【課題】 十分な精度で空間像を計測することを可能に する。 【解決手段】 空間像計測器５９のスリット板９０に は、計測方向（Ｘ軸方向）の幅が（波長λ／投影光学系 の開口数Ｎ．Ａ．）以下でＹ軸方向に伸びるスリット２ ２が形成されている。このため、照明光ＩＬによって所 定のパターンＰＭが照明され、該パターンの空間像が投 影光学系ＰＬを介して像面上に形成された状態で、上記 空間像に対してスリット板９０がＸ軸方向に走査される と、その走査中にスリット２２を透過した光が光電変換 素子２４で光電変換され、その光電変換信号（空間像の 光強度に対応する信号）が出力される。そして、この光 電変換信号に基づいて制御装置により空間像に対応する 光強度分布が計測される。この場合、スリット２２の幅 が（λ／Ｎ．Ａ．）以下とされているため、実用上十分 な、高い精度で空間像を計測することができる。 (57) [Abstract] [Problem] To enable measurement of an aerial image with sufficient accuracy. SOLUTION: A slit plate 90 of an aerial image measuring device 59 has a slit 2 extending in the Y-axis direction when the width in the measurement direction (X-axis direction) is not more than (wavelength λ / numerical aperture NA of the projection optical system). 2 are formed. For this reason, the predetermined pattern PM is illuminated by the illumination light IL, and in a state where the spatial image of the pattern is formed on the image plane via the projection optical system PL, the slit plate 90 is moved along the X-axis with respect to the spatial image. When scanning is performed in the direction, light transmitted through the slit 22 during the scanning is photoelectrically converted by the photoelectric conversion element 24, and a photoelectric conversion signal (a signal corresponding to the light intensity of the aerial image) is output. Then, the light intensity distribution corresponding to the aerial image is measured by the control device based on the photoelectric conversion signal. In this case, since the width of the slit 22 is equal to or smaller than (λ / NA), the aerial image can be measured with high accuracy that is practically sufficient.

Inventors

• 👤 Tsuneyuki Hagiwara
• 👤 恒幸 萩原

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