Electrode layer for electronic component and method of fabrication

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauteil, z.B. diskrete Bauelemente oder multifunktionelle Mehrkomponentensysteme wie nichtflüchtige ferroelektrische Speicher, dynamische Schreib-Lese-Speicher mit wahlfreiem Zugriff, integrierte Kondensatoren, Dünnschichtaktuatoren, Dünnschichtwiderstände, piezoelektrische Sensoren, piezoelektrische Wandler, pyroelektrische Sensoren, elektrooptische Bauelemente oder Module mit integrierten passiven Bauelementen (ICM) mit einem Substrat, mit Elektrodenschichten für Unterelektrode, Deckelektrode und gegebenenfalls ein oder mehreren Zwischenelektroden und mit funktionellen Zwischenschichten, wobei die Elektrodenschichten elektrisch leitende, oxidische Verbindungen enthalten, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Elektrodenschicht aus TiO x mit 1≦x≦2, EuO x mit 1≦x≦2, LiTi 2 O 4 , LiV 2 O 4 , SrVO 3 , Er x NbO 3 mit 0,65≦x≦0,92, RbWO 3 , Na x WO 3 , A 2 P 8 W 32 O 112 mit A=K,Rb,Tl, Na x Ta y W 1-y O 3 mit x=0.64 und x-y= 0.18, Na 1-x Sr x NbO 3 , LaTiO 3 CeTiO 3 , CaVO 3 , La 1-x Sr x VO 3 , SrCoO 3 , CaRuO 3 , SrRuO 3 , BaRuO 3 , BaPbO 3 , SrMoO 3 , Sr 0.5 La 0.5 O 3 , La 4 BaCu 5 O 13-x , La 2-x Sr x CuO 4-δ , YBa 2 Cu 3 O 7-δ , Bi 2 Sr 2 CaCu 2 O 8+d , Bi 2 Sr 2 CuO 6+d , Bi 2 Sr 2 Ca 2 Cu 3 O 10+d , Tl 2 Ba 2 CaCu 2 O 8 , TlBa 2 CuO 6+d , Tl 2 Ba 2 Ca 2 Cu 3 O 10+d , La 4 BaCu 6 O 15 , Gd 1-x Sr x VO 3 , CaCrO 3 , SrFeO 3 , EuNbO 3 , SrIrO 3 , CaMoO 3 , BaMoO 3 , Bi 3 Ru 3 O 11 , VO 2 , CrO 2 , MoO 2 , WO 2 , RhO 2 , PtO 2 , RuO x mit 1,5≦x<2, IrO x mit 1,5≦x≦2, SnO 2-x , La 3 Ni 2 O 7 , La 3 Ni 3 O 10 , M 2 V 2 O 7-x mit M=Tm, Lu, M 2 Mo 2 O 7 mit M=Nd,Sm,Gd, Lu 2 Ru 2 O 7 , Pb 2 Ru 2 O 7 , Bi 2 Ru 2 O 7 , Pb 2 Os 2 O 7 , Tl 2 Os 2 O 7 , Pb 2 Ir 2 O 2 , Tl 2 Rh 2 O 7-x , K 0.3 MoO 3 , Rb 0.3 MoO 3 , Tl 0.3 MoO 3 M x V 2 O 5 mit M=Cu,Na, Mo 17 O 47 oder Tl 2 O 3-x oder aus physikalischen Mischungen und/oder festen Lösungen miteinander oder mit ≦ 50 Gew.-% von weiteren Verbindungen oder Metallen besteht. Diese Elektrodenschicht zeichnet sich durch eine verbesserte Haftung aus und passiviert sich nicht. Ein verbessertes Verfahren zu ihrer Herstellung ist angegeben. The invention relates to an electronic component, for example discrete components or multi-functional multi-component systems such as non-volatile ferroelectric memories, dynamic random access memories, integrated capacitors, thin-film actuators, thin-film resistors, piezoelectric sensors, piezoelectric converters, pyroelectric sensors, electro-optical components or modules with integrated Passive components (ICM) with a substrate, with electrode layers for the bottom electrode, top electrode and optionally one or more intermediate electrodes and with functional intermediate layers, the electrode layers containing electrically conductive, oxidic compounds, characterized in that at least one electrode layer made of TiO x with 1 ≦ x ≦ 2, EuO x with 1 ≦ x ≦ 2, LiTi 2 O 4 , LiV 2 O 4 , SrVO 3 , Er x NbO 3 with 0.65 ≦ x ≦ 0.92, RbWO 3 , Na x WO 3 , A 2 P 8 W 32 O 112 with A = K, Rb, Tl, Na x Ta y W 1-y O 3 with x = 0.64 and xy = 0.18 , Na 1-x Sr x NbO 3 , LaTiO 3 CeTiO 3 , CaVO 3 , La 1-x Sr x VO 3 , SrCoO 3 , CaRuO 3 , SrRuO 3 , BaRuO 3 , BaPbO 3 , SrMoO 3 , Sr 0.5 La 0.5 O 3 , La 4 BaCu 5 O 13-x , La 2-x Sr x CuO 4-δ , YBa 2 Cu 3 O 7-δ , Bi 2 Sr 2 CaCu 2 O 8 + d , Bi 2 Sr 2 CuO 6 + d , Bi 2 Sr 2 Ca 2 Cu 3 O 10 + d , Tl 2 Ba 2 CaCu 2 O 8 , TlBa 2 CuO 6 + d , Tl 2 Ba 2 Ca 2 Cu 3 O 10 + d , La 4 BaCu 6 O 15 , Gd 1-x Sr x VO 3 , CaCrO 3 , SrFeO 3 , EuNbO 3 , SrIrO 3 , CaMoO 3 , BaMoO 3 , Bi 3 Ru 3 O 11 , VO 2 , CrO 2 , MoO 2 , WO 2 , RhO 2 , PtO 2 , RuO x with 1.5 ≦ x <2, IrO x with 1.5 ≦ x ≦ 2, SnO 2-x , La 3 Ni 2 O 7 , La 3 Ni 3 O 10 , M 2 V 2 O 7- x with M = Tm, Lu, M 2 Mo 2 O 7 with M = Nd, Sm, Gd, Lu 2 Ru 2 O 7 , Pb 2 Ru 2 O 7 , Bi 2 Ru 2 O 7 , Pb 2 Os 2 O 7 , Tl 2 Os 2 O 7 , Pb 2 Ir 2 O 2 , Tl 2 Rh 2 O 7-x , K 0.3 MoO 3 , Rb 0.3 MoO 3 , Tl 0.3 MoO 3 M x V 2 O 5 with M = Cu, Na , Mo 17 O 47 or Tl 2 O 3-x or from physical mixtures and / or solid solutions with one another or with ≦ 50% by weight of further compounds or metal len exists. This electrode layer is characterized by improved adhesion and does not passivate. An improved process for their manufacture is given.

Inventors

• 👤 Mareike Katharine Dr. C/O Philips Klee
• 👤 Hans-Wolfgang C/O Philips Brand
• 👤 Hans-Otto C/O Philips Jungk

Bibliographic Details