EXPOSURE DEVICE.

Abstract

Abstract Translated from German Un dispositif d'exposition lumineuse (1) permettant de produire des originaux (6) ou d'exposer directement des éléments électroniques comprend une source de lumière (2) et un générateur de motifs (3). Afin de raccourcir le temps d'écriture ou d'exposition nécessaire, avec un dispositif d'exposition (1) à structure simplifiée, le générateur de motifs (3) comprend un système strioscopique optique (15, 17) et un modulateur de lumière en surface (13) actif et à adressage matriciel. Le modulateur de lumière en surface (13) comprend une surface réfléchissante dont les zones adressées réfléchissent par diffraction la lumière incidente et dont les zones non adressées réfléchissent la lumière incidente sans diffraction. Le système strioscopique (15, 17) comprend un objectif strioscopique (15), un objectif projecteur (16) et un dispositif réfléchissant (17) qui dirige la lumière émise par la source de lumière (2) sur la surface du modulateur de lumière (13). L'objectif strioscopique (15) est situé à une distance réduite du modulateur de lumière en surface (13), par rapport à sa distance focale. Un dispositif (4c) focalise la lumière émise par la source de lumière (2) sur au moins un point (P) écarté du dispositif réfléchissant (17). Au moins une source ponctuelle virtuelle de lumière (P') peut être associée au point (P) par réfléchissement du point (P) sur le dispositif réfléchissant (17). Un dispositif de filtrage (18) est situé dans le plan de diffraction de la source ponctuelle virtuelle de lumière (P') entre l'objectif strioscopique (15) et l'objectif projecteur (16). L'original (6), l'élément électronique ou la structure peuvent être assujettis sur une table mobile de positionnement (7). A light exposure device (1) for producing originals (6) or for directly exposing electronic elements includes a light source (2) and a pattern generator (3). In order to shorten the writing or exposure time required, with an exposure device (1) with a simplified structure, the pattern generator (3) comprises an optical strioscopic system (15, 17) and a light modulator in active surface (13) with matrix addressing. The surface light modulator (13) includes a reflecting surface, the addressed areas of which reflect incident light by diffraction, and the unaddressed areas of which reflect incident light without diffraction. The strioscopic system (15, 17) comprises a strioscopic objective (15), a projector objective (16) and a reflecting device (17) which directs the light emitted by the light source (2) on the surface of the light modulator ( 13). The strioscopic objective (15) is located at a reduced distance from the surface light modulator (13), relative to its focal distance. A device (4c) focuses the light emitted by the light source (2) on at least one point (P) spaced from the reflecting device (17). At least one virtual point source of light (P ') can be associated with the point (P) by reflection of the point (P) on the reflecting device (17). A filtering device (18) is located in the diffraction plane of the virtual point source of light (P ') between the strioscopic objective (15) and the projector objective (16). The original (6), the electronic element or the structure can be fixed on a mobile positioning table (7).

Inventors

• 👤 Holger Vogt
• 👤 Heinz Kueck
• 👤 Guenther Hess
• 👤 Andreas Gehner

Bibliographic Details